硅材料是半导体行业应用最广泛的半导体材料，是集成电路晶圆制造的主要原料。 集成电路材料产业技术创新联盟联合分析检测与技术合作服务平台是材料联盟牵头，由多家半导体领域高校、企业及实验室等共建单位积极参与建设的专业化服务平台，目前共发布320多台仪器，涉及硅材料、光刻材料、电子气体、工艺化学品、封装材料、抛光材料、溅射靶材等多个不同领域。仪器信息网特将其中硅材料测试仪器进行整理，看知名半导体企业及实验室都购置了哪些硅材料测试仪器。（所统计仪器，部分仪器可能存在并列或包含关系，未进行区分） 硅材料测试用仪器共55台（套），其中电子天平、电感耦合等离子质谱仪数量最多。 硅材料测试用仪器数量统计 仪器 台（套）数量 电子天平 4 电感耦合等离子体质谱仪 4 微控数显电加热板 2 数字式硅晶体少子寿命测试仪 2 磷检区熔炉 2 激光粒子计数器 2 等离子聚焦离子束 2 紫外/可见分光光度计 1 原子力显微镜 1 研磨机 1 硝酸提纯仪 1 显微红外分析仪 1 微机控制万能（拉力）试验机 1 微波消解仪 1 透视式电子显微镜 1 透射电子显微镜 1 少子寿命分析仪 1 扫描电镜系统 1 三维光学轮廓仪 1 能量色散型X射线荧光分析仪 1 纳米粒度仪 1 两探针电阻率测试仪 1 离子色谱仪 1 离子色谱 1 扩展电阻测试仪 1 聚焦离子束 1 精密研磨机 1 精密切割机 1 金相显微镜 1 激光散射粒径分布分析仪 1 傅立叶变换红外光谱仪 1 非金属膜厚仪 1 飞行时间二次离子质谱仪 1 多功能颗粒计数仪 1 电感耦合等离子体发射光谱仪 1 电感耦合等离子发射光谱仪 1 低温傅立叶变换红外光谱仪 1 低温傅里叶变换红外光谱仪 1 导电型号测试仪 1 超纯水系统 1 半导体参数测试仪 1 α-粒子计数器 1 CNC视像测量系统(三次元) 1 3D立体显微镜 1 仪器所属单位中，55台（套）仪器分别来自于9家半导体企业及实验室。 仪器所属企业统计 单位名称 台（套）数量 江苏鑫华半导体材料科技有限公司 23 工业和信息化部电子第五研究所（中国赛宝实验室） 16 上海新安纳电子科技有限公司 5 南京国盛电子有限公司 3 洛阳中硅高科技有限公司 3 无锡华润上华科技有限公司 2 沁阳国顺硅源光电气体有限公司 1 纳瑞科技（北京）有限公司 1 江阴江化微电子材料股份有限公司 1 以下为硅材料测试用仪器的具体信息： 硅材料测试仪器及型号 仪器 型号 所属单位 飞行时间二次离子质谱仪 TOF.SIMS 5 工业和信息化部电子第五研究所（中国赛宝实验室） 非金属膜厚仪 3100 江阴江化微电子材料股份有限公司 金相显微镜 DM8000、DM3 XL等 工业和信息化部电子第五研究所（中国赛宝实验室） 透视式电子显微镜 Tecnai F20 无锡华润上华科技有限公司 透射电子显微镜 FEI Tecnai G 2 F20、OXFORD 能谱 工业和信息化部电子第五研究所（中国赛宝实验室） 超纯水系统 Milli-Q Advantage A10 江苏鑫华半导体材料科技有限公司 能量色散型X射线荧光分析仪 EDX-720 工业和信息化部电子第五研究所（中国赛宝实验室） 聚焦离子束 FEI DB835 无锡华润上华科技有限公司 纳米粒度仪 NiComp 380 ZLS 上海新安纳电子科技有限公司 紫外/可见分光光度计 UV-MINI 1240 工业和信息化部电子第五研究所（中国赛宝实验室） 精密研磨机 UNIPOL-802 江苏鑫华半导体材料科技有限公司 精密切割机 SYJ-150 江苏鑫华半导体材料科技有限公司 等离子聚焦离子束 FEI-235/FEI-835/FEI-200/FEI-800 纳瑞科技（北京）有限公司 等离子聚焦离子束 双束FIB Helios G4 CX 工业和信息化部电子第五研究所（中国赛宝实验室） 离子色谱仪 ICS-900 上海新安纳电子科技有限公司 离子色谱 882 Compact IC plus 江苏鑫华半导体材料科技有限公司 磷检区熔炉 WJ-FZ30A 江苏鑫华半导体材料科技有限公司 磷检区熔炉 FZ 350/20 江苏鑫华半导体材料科技有限公司 硝酸提纯仪 DST-4000 江苏鑫华半导体材料科技有限公司 研磨机 metaserv250 江苏鑫华半导体材料科技有限公司 电感耦合等离子发射光谱仪 VARIAN 710-ES 上海新安纳电子科技有限公司 电感耦合等离子体质谱仪 iCAP RQ 沁阳国顺硅源光电气体有限公司 电感耦合等离子体质谱仪 7700S 南京国盛电子有限公司 电感耦合等离子体质谱仪 8900 江苏鑫华半导体材料科技有限公司 电感耦合等离子体质谱仪 7700S 江苏鑫华半导体材料科技有限公司 电感耦合等离子体发射光谱仪 5100 工业和信息化部电子第五研究所（中国赛宝实验室） 电子天平 XPE504 江苏鑫华半导体材料科技有限公司 电子天平 XPE105 江苏鑫华半导体材料科技有限公司 电子天平 ME-204E 江苏鑫华半导体材料科技有限公司 电子天平 JE1002 江苏鑫华半导体材料科技有限公司 激光粒子计数器 KC-24 江苏鑫华半导体材料科技有限公司 激光粒子计数器 HHPC-6+ 江苏鑫华半导体材料科技有限公司 激光散射粒径分布分析仪 LA-960 上海新安纳电子科技有限公司 显微红外分析仪 NicoletIS50+Continuum 工业和信息化部电子第五研究所（中国赛宝实验室） 数字式硅晶体少子寿命测试仪 LT-100C 洛阳中硅高科技有限公司 数字式硅晶体少子寿命测试仪 LT-100C 江苏鑫华半导体材料科技有限公司 扫描电镜系统 冷场发射扫描电子显微镜 Regulus8230 热场发射扫描电子显微镜 MIRA3 XMH 离子溅射镀膜仪 Q150TS 能谱仪 Octane Elect Plus 电子背散射衍射仪相机 Hikari Plus X射线能谱仪 Octane Elect Su 工业和信息化部电子第五研究所（中国赛宝实验室） 扩展电阻测试仪 SSM2000 南京国盛电子有限公司 微波消解仪 MARS6 江苏鑫华半导体材料科技有限公司 微机控制万能（拉力）试验机 CMT5105、6502 工业和信息化部电子第五研究所（中国赛宝实验室） 微控数显电加热板 HP51 江苏鑫华半导体材料科技有限公司 微控数显电加热板 EG20B 江苏鑫华半导体材料科技有限公司 少子寿命分析仪 FAaST210 南京国盛电子有限公司 导电型号测试仪 STY-3 江苏鑫华半导体材料科技有限公司 多功能颗粒计数仪 AccuSizer 780 APS 上海新安纳电子科技有限公司 原子力显微镜 Dimension® Icon™ 工业和信息化部电子第五研究所（中国赛宝实验室） 半导体参数测试仪 B1500/B1500A/B15005A 工业和信息化部电子第五研究所（中国赛宝实验室） 傅立叶变换红外光谱仪 Nicolet iS50 洛阳中硅高科技有限公司 低温傅里叶变换红外光谱仪 CryoSAS 江苏鑫华半导体材料科技有限公司 低温傅立叶变换红外光谱仪 CryoSAS 洛阳中硅高科技有限公司 两探针电阻率测试仪 KDY-20 江苏鑫华半导体材料科技有限公司 三维光学轮廓仪 VK-X250K 工业和信息化部电子第五研究所（中国赛宝实验室） α-粒子计数器 UltraLo-1800 工业和信息化部电子第五研究所（中国赛宝实验室） CNC视像测量系统(三次元) O-INSPECT543 工业和信息化部电子第五研究所（中国赛宝实验室） 3D立体显微镜 VHX-6000 工业和信息化部电子第五研究所（中国赛宝实验室）