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产品名称:CrossBeam®最佳的三维分析工具
产品品牌:德国蔡司
产品类别:电子显微镜
 产品详细描述:
仪器简介:
卡尔.蔡司CrossBeam®系列产品包含了一整套独具特色的仪器。它从独特的NEON®平台出发,客户可根据日常的分析工作、样品制备以及高性能成像的具体应用来定制系统,直到NVision 40工作站,它可满足最苛刻的成像要求,并提供与众不同的离子束性能。 
CrossBeam®这一独特的产品系列,将场发射专利技术GEMINI®的出众的成像能力与高性能的聚焦离子束镜筒结合在一起,形成了一种崭新的功能强大的系统。 一流的优中心(eucentric)样品台,结合功能完善、体积小巧的多通道气体注入系统,让CrossBeam®系列产品成为最佳的分析与检验工具。在FIB操作过程的整个放大倍数范围内 特有的实时成像能力保证了在处理关键样品时可实现全面的控制。凭借一系列选配功能,每一台CrossBeam®工作站都可满足最苛刻的应用需求。

技术参数:
CrossBeam®基本规格 
     电子光学    FIB 
分辨率    1.1nm @ 20 kV
2.5nm @ 1 kV     NEON®:        7nm @ 30 kV
NVision40:     4nm @ 30 kV
加速电压    0.1 - 30 kV     NEON®:          2 - 30 kV
NVision40:        5-30kV
                 1-5kV(opt.)
束流    NEON®:   4pA - 10nA
NVision40: 4pA - 20nA    NEON®:         1pA - 50nA
NVision40:     0.1pA - 45nA 
放大倍数    NEON®:   12 – 900kx
NVision40: 30x-900kx    NEON®:         600x–500kx
NVision40:       475x-500kx 
发射器    热场发射    Ga液态金属离子源(Ga LMIS)
标准探测器     内置式(In-lens)二次电子探测器与样品室内ET探测器
图象处理    7种积分和平均模式 
系统控制    基于Windows® XP的SmartSEM™ 

主要特点:
 CrossBeam®工作模式:蚀刻、抛光过程中的高分辨率实时成像
 采用GEMINI®镜筒实现超高分辨率成像
 超高精度的聚集离子束(FIB) 
 自动化的透射电子显微镜(TEM)样品制备软件包
 采用镜筒内置式EsB探测器,获得更好的组分像

   
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